小型真空泵可按排气方式、压力范围以及是否使用油进行分类。
1. 排气法
根据排气方式的不同，真空泵可分为两类：气体输送真空泵和气体储存真空泵。气体输送真空泵将空气从进气侧输送到排气侧。
此外，储气式真空泵的工作原理是将要排出的空气储存在泵内，然后用另一个真空泵排出储存的空气。
2. 压力区
单台真空泵不可能满足从大气压到高真空的所有需求。通常情况下，除了用于高真空的主泵外，还会配合使用辅助泵或粗抽泵。
3. 干/湿
真空泵分为两种类型：干式真空泵（不使用油）和湿式真空泵（使用油）。使用油的真空泵产生的真空中含有油蒸气和泵自身产生的水蒸气。
干式真空泵在半导体制造过程中至关重要，因为这些过程需要精确控制。此外，在食品和药品生产中，由于不希望使用油，也会使用干式系统。
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