基础概况
学科依托强劲：作为流体动力与机电系统国家重点实验室的主要组成单位，研究所所属的机械电子工程学科是国家重点学科，所在的一级学科机械工程更是入选国家 “双一流” 建设学科，招生方向涵盖机械电子工程，面向博士生等高层次人才开展招生培养工作。
师资配置优质：研究所现有教授 7 人、研究员 2 人、副教授 2 人等一批高水平师资，且全员拥有国内外知名高校博士学位。团队中包含 2 名国家级重大人才工程项目入选者、4 名该类青年项目入选者，像所长刘涛教授、研究方向为微纳测量的居冰峰教授、专注光刻机浸液控制系统研究的付新教授等，均是领域内颇具影响力的学者。此外目前还有 100 余名博士和硕士研究生在此开展课题研究，科研团队梯队完整。
核心研究方向imnp.zju.edu.cn
研究所聚焦精密工程与微纳技术的核心及前沿领域，研究方向覆盖多个关键赛道，且紧密对接高端制造需求。具体包括光刻机浸液系统、面向微纳制造的流体部件及超精密加工与测量技术；微纳器件与系统集成、MEMS 与微纳制造技术；外骨骼机器人、运动康复机器人等相关的传感与驱动应用技术；还有人工心脏、新型精密气动元件及系统等，部分研究成果可直接服务于集成电路、高端装备等核心产业。
学术与人才培养活动
研究所长期以青年学术论坛为重要交流平台，至今已连续举办多届。例如 2024 年第七届论坛邀请了华中科技大学陈修国教授等专家，围绕 IC 纳米结构测量、高端光刻装备等主题作特邀报告，还通过博士生口头报告、学术墙报展示等形式促进交流，并评选最佳报告与墙报奖项；2022 年第五届论坛中，项荣教授带来 “原子尺度制造与原子精度表征” 的专题报告，17 位青年研究人员通过墙报展示科研成果。这类活动不仅营造了浓厚的学术氛围，还助力人才成长，曾有论坛优秀报告获得者后续入职研究所成为引进人才。
核心成员研究特色
团队成员研究各有侧重，形成了多元且互补的科研布局。比如谢金副所长深耕微机械电子系统与微传感器技术；陈远流研究员专注智能精密微纳制造与精密机电系统集成；刘伟庭副教授聚焦柔性触觉传感器与穿戴式测量技术，毛凯等助理研究员则主攻集成电路流体测控元件研究，不同方向的协同发力推动了研究所整体科研实力的提升。
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