柴田科学 真空泵的应用及原理。

真空泵用于医疗设备、医疗设备制造过程、食品工厂、电气设备和半导体制造过程。也用作需要真空的医疗设备和理化设备的辅助装置。已经为真空泵开发了 10 多种不同的原理，有必要了解每种原理的特性并选择合适的原理。

 

真空泵的主要用途如下。

牙科吸唾液机

在保温瓶中制造真空

在半导体工艺中使用等离子体时创建真空环境

粘贴食品包装材料时

科研设备真空源（蒸发器、过滤器、真空干燥器、干燥器等）

工厂生产设备用大容量真空泵

 

真空泵按其工作原理进行分类，对具有代表性的工作原理进行说明。

 

1.油回转真空泵

油封式回转式真空泵是在旋转转子的作用下将吸入的空气推出而排出的真空泵。又称回转式真空泵。

 

详细类型包括旋片油旋转真空泵、凸轮油旋转真空泵和摇摆活塞油旋转真空泵。连接到活塞的转子叶片、凸轮和摆动部分的形状与与空气接触的部分不同。

 

只要使用油，油的蒸气压就是真空的极限，但油的作用是提供稳定的性能，用小型装置即可轻松获得中等真空。

 

2、油扩散真空泵

油扩散真空泵由锅炉、喷嘴和冷凝器组成。由锅炉加热并变成蒸汽的油以超音速从喷嘴喷出，将泵内的空气分子推出排气口。蒸出的油在冷凝器中变成液态油，重新使用。

 

3、旋片式干式真空泵

旋片式干式真空泵是利用旋转的转子和叶片将从吸气口吸入的空气排出，不使用油的真空泵。由于无法防止空气回流，因此低真空条件是极限，但可以获得高抽速。

 

4.摆动活塞式干式真空泵

摆动活塞式干式真空泵是通过与偏心转轴联动的活塞将空气推出而排出空气的真空泵。由于结构原因，无法防止空气回流，所以低真空条件是极限，但维护容易。

 

5、隔膜式干式真空泵

隔膜泵（隔膜泵）是将橡胶、树脂、金属等材料制成的隔膜的往复运动与止回阀结合起来输送流体的泵。使用真空泵时，由于有单向阀的存在，无需用油作气密性，可作干式泵使用。随着往复运动，通过反复从被抽真空侧吸入空气并将其排放到大气侧来产生真空。

 

6.涡旋式干式真空泵

涡旋式干式真空泵是一种通过螺旋定子和转子运动的组合来抽真空的干式真空泵。涡流运动将空气推向中心并从中心排出。

 

7.涡轮分子泵

涡轮分子泵是一种涡轮形状的干式真空泵。排气是通过以接近分子热运动的速度旋转涡轮叶片并根据涡轮叶片的倾斜在分子运动中产生偏差来进行的。为了使涡轮叶片能够高速旋转，必须在一定的真空度下使用，与其他真空泵配套使用。

 

如何选择真空泵

选择真空泵时，要考虑极限真空度、抽真空时间、抽真空能力等来确定泵的型号。真空度有低真空、中真空、高真空，各有适合的真空泵。

 

1、低真空用真空泵

对于低真空，有隔膜式干泵、摆动活塞式干泵、旋片式干泵等。隔膜式没有像旋片式干泵那样的滑动部件，因此不会因搅拌而产生细小颗粒，可以获得清洁的真空。摇摆活塞式结构简单，维修方便。旋转翼型可以获得较大的排气速度。

 

2、中真空用真空泵

对于中真空，有涡旋式和油回转式。许多涡旋式产品通过两级压缩确保效率，并且低振动和低噪音。顾名思义，油回转式泵是用油润滑和密封的，因此效率高，真空稳定性好。

 

3、高真空用真空泵

对于高真空，有旋转两个转子进行吸入和压缩的罗茨式（机械增压）真空泵，将多级罗茨式泵集成在一起的多级罗茨式真空泵，以及具有简单结构的油扩散泵。结构和高抽速.型真空泵。此外，还有用于超高真空的涡轮分子泵和低温泵。

 

由于像这样的真空泵有多种类型，因此了解它们的特性和特性并选择最适合您应用的一种非常重要。